超精密机床的基本问题抗振隔振问题的解决-伟名石墨

在超精密加工中，振动是一种非常有害的现象，会严重影响被加工零件的表面质量和性能。超精密加工中的振动源是来自机床内部的振动和来自机床外部的振动。目前，减少振动影响的方法主要有三种：提高机床的稳定性；消除或减少机床中的振动；减少外部振动的影响。下面详细说明防振隔振问题..

1，提高了机器的稳定性

超精密机床对机床结构的稳定性要求很高，即各部件尺寸稳定性好，刚性高，变形小，结构的振动和阻尼性能好。

(1)各组分尺寸稳定性良好

使用尺寸稳定性好的材料制作机床零件，如陶瓷，花岗岩，尺寸稳定性好的钢材，合金铸铁等..不仅通过消除应力，时效，冷处理，浇铸慢冷等方法使构件具有高度的尺寸稳定性。

（2）高刚性的结构，变形小

当机床运动部件的位置发生变化时，工件的装卸或载荷的变化、力的变化等，都会引起变形。要求结构刚度高，变形小，不影响加工精度。接触面接触良好，接触刚度高，变形小。

2. 消除或减少机床的振动

在超精密机床中使用金刚石工具进行超精密切削时，要求机床工作平稳，不允许振动，因此必须提高机床结构的抗振能力，以减少机床内部的所有振动。

3，减少外部振动的影响

这也是超精密机床中一个非常重要的问题。现在使用的方法是：

(1)超精密机床应尽可能远离振源: 机床附近的振源，如空气压缩机、泵等应尽可能远离振源。 当无法移动时，应采用单独的基础，添加避震等措施，以尽量减少振动对超精密加工的影响。

（2）超精密机床采用独立基础、隔断沟、隔振墙等：为了减少外界振动的干扰，基础应有足够的深度，基础周围应有隔振沟，沟内应采用减振材料。

（3）利用空气隔离垫（也称为空气弹簧）现在下的超精密机床和精密测量平台用于自动发现振动的空气的隔离垫的水平，它通常可以从外部的振动比分离2HZ。小型机床隔离由三个空，大型机器带有四个空气隔离垫支架支撑。用空气隔离垫支撑机之后，现在已经达到了以隔离输入1.5-2HZ钢的涂覆的振动频率。

使用气垫后，机床需要一个自动找平的控制系统。当机床运动部件的运动中心发生变化时，仍能保持水平。方法是将两台相互垂直的电子水准仪放置在机床上。当机床上的运动部件由于中心的变化而不水平时，电子水准仪会发出一个极限值。由于控制系统分为调节空气隔离垫的气压，机床将回到水平位置。由于电子水准仪的精度等级不同，可根据需要选择，使机床的水平度达到要求。