新型光整加工方法机械化学研磨的相关介绍-伟名石墨

机械力化学磨削是利用软磨粒与工件接触处产生的机械力化学现象，去除工件表面的微小物质。新型光整加工方法近年来在生产加工领域得到了广泛的应用。其主要优点是经济性好，生产率高，半导体等晶体加工精度高。

1. 湿式机械力化学研磨

湿式机械化学研磨可用于硅片的最终整理。它使用直径为0.01微米的二氧化硅磨料微粉，将胶体液体均匀地混合在弱碱溶液中作为磨料剂。质地细腻的软泡沫多胺人造革..

磨削时，工件直径大，没有柔软的皮革网状平面，因此在高速，高压条件下，工件可在棉卷的磨料层的表面之间形成。棉卷的表面不规则性，尽管轻微，有的另一工件的接触位置，风和雨，但该磨料工件和研具之间均普遍。当处理时，在晶片表面可以软搭接和磨料除去水膜的形成。因此，抛光不是直接由搭接的机械作用，但除去由棉卷水合膜生产的，因此，可以进行良好的研磨。

然而，这些新型光整加工方法与上述并不完全相同，由于水化膜有时断裂，硅片表面将存在加工缺陷。然而，这些缺陷可以通过清洗或HF水溶液腐蚀来消除，并且仍然可以得到没有任何加工缺陷的表面..增加磨削压力或减少磨削液的供应，增加了硅片表面的缺陷；当磨削速度增加时，由于水表面的漂浮现象，使磨削液膜层增厚，从而减少了硅片的表面缺陷。

为了降低磨削效率，机械化学磨削可分为两个步骤: 第一步是使用粗磨料和通风良好的研磨工具，为了使研磨液膜变薄，利用磨料和工具表面的机械作用破坏水化膜，使研磨工具和硅片直接接触，从而提高研磨效率。

2.干机械和化学研磨

干式化学抛光搭接作为玻璃板，软二氧化硅研磨剂抛光蓝宝石。研磨，在二氧化硅的表面和蓝宝石之间的接触会产生化学反应，以产生软容易地除去富铝红柱石，使得高质量的工件表面上。

干机械化学磨削的特点如下：

(1)化学反应范围小，有利于加工，磨料粉反应性强，可明显提高磨削效率，甚至比1微米粒度的金刚石粉还要高。

（2）工件表面不会产生划痕，即使使用300摄氏度的热磷酸蚀，也不会出现加工缺陷，因此磨削后的工件可以获得良好的镜面。

(3)研磨刀具磨削后采用玻璃板制成，研磨过程中研磨刀具几乎没有弹性变形，工件形状的边缘不会塌陷。

在生产过程中，有研磨的方法很多，抛光只是上述化学机械抛光的网站上常见的新型光整加工方法之一。对于加工企业，生产加工时间必须根据其自身的特点选择适合自己的工作方法，这样不仅提高工作效率，而且成本高。