细节决定成败超精密机床微量进给装置的重要性-伟名石墨

在超精密机床和超精密加工，以使微位移机的分辨率进一步提高，同时也为机床和加工误差进行补偿，以提高形状精密加工，需要使用微位移机构。高精度微自由基机理已经成为一个重要的超精密机床及关键功能部件。现在微位移机构已达到0.005--0.01微米的分辨率，这对于实现高的尺寸精度的加工误差和补偿线有用。

在超精密机床中，利用微进给装置夹紧金刚石刀具，对刀具进行微调。如在超精密磨削中，砂轮进给要求达到百分之几微米; 在超精密车削中，金刚石刀具要保证亚微米的精度。

还采用微自由基机制来弥补超精密机床的微内联误差，要求位移分辨率达到几微米..因此，良好的精密和超精确位移机构应满足以下要求：

（1）进料和微妙的原油原料应分开，以提高精确度，分辨率和稳定性的微位移。

（2）为了获得高的重复精度，运动部件必须具有低摩擦和高稳定性。

(3)最终传动元件必须具有高刚度，即金刚石刀具的夹紧位置必须具有高刚度。

（4）微进给机构内部的连接必须可靠，尽量保持最小的间隙和刚性连接，否则微进给机构很难达到高重复性。

（5）技术好，容易地制造。为了达到0.01微米饲料，微量元素机构本身的进给精度，应该是精度可以制造。

微进给装置有多种结构形式，其工作原理也各不相同。根据精密和超精密微进给装置的要求，只有弹性变型和压电陶瓷微进给机构比较适合和成熟。

2. 弹性变形微进给装置

弹性变形微进给器稳定可靠，重复性好..这种变形微进给装置非常适合手动操作。

3. 压电陶瓷微进给装置

为了实现全自动微进给，要求微进给装置具有较好的动态特性，现多采用压电陶瓷微进给装置..压电陶瓷具有逆压电效应和电致伸缩效应，这是介电变形在电场作用下的基本电耦合效应。电致伸缩效应的变形量与电场强度的平方成正比。压电陶瓷在制造微型进给机构方面具有许多优点..

他可以实现高刚性无间隙位移可以实现极为精细微位移，更大的变形系数。高频率响应，无热量问题使没有电流。