精密机械加工离子束加工的特点及应用-伟名石墨

离子束是特殊精密加工的一种传统工艺，由于在机械进行加工中使用情况并不具有普遍，所以我们大家可以对于企业这种方法加工生产工艺技术并不能够了解。离子束加工是在真空的环境下，将惰性气体，通过离子源产生的离子束经过加速，投射到工件表面实现去除材料的目的。

离子束加工方法

离子束加工方法用离子束溅射去除处理，离子束溅射法，离子束注入和离子束暴露过程等。

1、 离子束溅射去除加工：这种教学方法我们可以简称为离子束去除加工，其加工工作原理是利用这些离子溅射，主要是由于一次溅射和二次溅射，他是一种最典型的原子、分子加工企业单位的微细加工处理方法和超精密机械加工方式方法。

2.离子束溅射镀膜加工：这种方法是原子级，分子级的附着加工，所以有时也称为离子束溅射附着加工.. 用加速离子从靶上打击原子和分子，并将它们附着在工件表面形成涂层。

3、 离子束注入自己加工：这种教学方法主要就是通过电离将所要发展注入的元素，加速正离子分离，形成一个高能离子液，对工件表面可以进行不断轰击，离子因功能具有很大，被打入表层内，其电荷被综合，称为置换原子或劲歌件的填隙原子，被留于表层中，使材料的化学组成成分、结构、性能问题产生巨大变化。

如图4所示，离子束暴露：离子束曝光密度和分辨率的优点是老年人。由于离子质量比电子大得多，反向散射的效果小，邻近效应是小的，因此能够在曝光的精度精细图案线宽。

离子束加工的特点

离子束加工在微细加工和精密加工中是一种社会最有发展前途的原子、分子加工企业单位的加工技术方法。

1.加工精度和高表面质量：离子束加工是以微观力效应为基础，加工表面层不产生热量，不引起机械应力和损伤.. 离子束斑直径可达1微米以下，加工精度可达纳米级。

2、加工技术材料具有广泛：可对各种不同材料可以进行分析加工。由于我国加工工作原理是力效应，故对脆性、半导体、高分子等材料都可加工。由于信息加工是在真空下进行，故适用于加工易氧化的金属、合金和半导体材料管理等等。

如图3所示，浓化处理方法：离子束加工可以被移除，涂层，注射和其他处理，出现了各种各样的具体方法利用这些方法中，如模制，蚀刻，稀化，曝光等的原则，在集成电路制造中占有极其重要的地位。

4、 控制性能好，易于管理实现企业自动化。

离子束处理在以后的发展中具有良好的前景。 可根据加工要求选择离子束的光斑直径和能量圈密度。 直径小，能量密度高的离子束可用于去除加工；而直径大，能量密度低的离子束适用于和刻蚀；直径大，能量强的离子束适用于注入加工，可以反映其广泛的应用范围..