微量流体控制器件与系统-伟名石墨

微量流体进行控制管理系统发展具有集成化与大批量生产的可能性，有与尺寸小可以通过减少无效体积，耗能低，且响应快，有利于学生提高内部控制技术精度。微量流体控制信息系统研究主要有微型泵、微型阀以及微流量传感器等构成。微型主动阀、微型泵亦可单独构成开环的微量流体控制环境系统，集成为网络流量传感器的闭环控制工作系统设计可能无法实现自己更高的微量流体控制性能。

对于微量流体控制装置和系统，具体介绍如下..

1、 微型阀

隔膜阀或闭塞阀的微型阀使用硅多个汽提，以实现切换阀的变形例的对象的，变形通常小于20微米，尽管施加大的致动力，同时也对大多数弹性的消耗膜片的变形。微阀的泄漏是影响个人控制阀的性能的重要因素。自对准结构和所述阀塞与所述阀孔的纳米制造工艺的接触表面的设计，以使阀的泄漏非常小。

美国公司研制出双金属片结构的电热致动微型阀较早系统实现了产品化，两种热膨胀系数分析不同的薄膜材料硅和铝。当通电加热时，因热膨胀伸长量不同发展导致企业垂直管理方向可以弯曲变形，断电时薄膜弹性功能恢复、从而有效控制一个微型阀的开启和关闭。

2、 微型泵

基于精细加工工艺特点和尺寸效应，微泵多采用薄膜结构设计.. 微膜泵的基本原理是执行器引起膜的弹性变形，使泵腔内的体积和压力发生变化。 通过主动或驱动控制入口和出口的单向阀，从而引起气体和液体的定向流动。 到目前为止，有许多中型薄膜阀、蠕动泵、电液动力泵和非无阀泵，在锥形习惯中采用不同的压降和反向流动原理设计。

荷兰气动隔膜泵热色值，玻璃和硅有硅和通过阳极融合法的硅层叠在一起。该泵包括一个主体部分和两个单向阀薄膜的，该膜是由出口侧单向阀的流体压力向下弯曲;该膜是向上弯曲通过流体吸入侧单向阀入口。

3、 微量流体进行控制管理系统

日本开发了压电驱动控制的微型泵和三通阀的基础上，早期尝试的综合化学分析系统。 微型泵和三通阀的主要结构由两个带有一层玻璃的硅片和一个外部压电执行器组成。

荷兰微型泵集成液体释放系统的微流量传感器微量。硅体单面蚀刻过程中，薄膜的热泵和基于集成在同一硅芯片生产热微流检测原理空气流量传感器。系统控制装置与其他进一步混合，微流体检测容易集成。

瑞士公司研制的微量流体进行控制管理系统，当液体流经网络流量通过传感器的悬臂梁端部的窄缝时，液体的粘滞力使悬臂梁结构变形，由应变片可检知出口贸易流量。