微细图形尺寸的测量方法都有哪些-伟名石墨

精密机械制造中测量数据技术发展十分具有重要，因为我们测量的精确度会直接通过关注了成品的精度要求以及生活质量。在进行分析精密加工的时候，微细图形设计尺寸的测量是十分常见的，它主要是指大规模的集成系统电路中的掩模板和硅片上的图形线条宽度、线间距问题以及硅片上的线条深度的测量。

测量线宽间距的测量仪器有比较测量和直接测量两种..

1、 比较测量法

此方法将被测量和参考材料是图形比较，以确定所述标准模式和产生的，以实现正确的图案，以确定制造图案之间的差异。该方法主要适用于检测所述掩模，使用透射光照明。

掩膜检查仪主要研究采用的是两种单色光源照明，红色光和绿色光分为不同照明设计基准掩膜和被测掩膜。并分别需要经过一定倍数相同的纤显微物镜，成像在同一视场的像面上。由于市场基准图形与被测图形具有相同，合像之后，两图形我们完全没有一致会呈现一个黑色。当被测图形有缺陷时，则缺陷处会出现一些红色文化或者企业绿色，可以通过直接通过人眼进行有效投影屏的观测。

2、 直接测量

（1） 电视测量

电视测量是通过显微镜，电视摄像机所形成的电视图像，将获得的图像测量成一定大小的样品.. 主要测量数据来自电视信号，根据测量目标不同的光学特性，可以选择不同灵敏度和分辨率的摄像机.. 此外，应根据数据处理能力的大小和速率选择不同的存储器和微处理器..

（2）的光电倍增管测量系统

光电倍增管测量控制系统主要是由光学电子显微镜、扫描狭缝、光电倍增管及使用计算机等组成。光源照明被测件，经过物镜和辅助物镜成像在扫描狭缝附近，被光电倍增管接收，用显微密度计可以形成发展轮廓信息送入网络计算机对这个目标轮廓数据进行研究分析，从而能够确定线边缘的位置。

（3）激光扫描系统

使用激光束的相干性来扫描物体表面。当携带某个标记的物体的表面，只要激光束落在标记的边缘时，会产生衍射现象，光能量的变化。和光学系统接收光的能量转换为电信号通过感光构件，从而精确地测量各种尺寸的标记物平面的相互位置。

（4） 扫描进行电子通过显微镜

扫描电子显微镜在小尺寸测量中的应用是一种理想的方法。 它利用高聚焦的电子束在光栅模式下扫描被测样品，通过检测样品发射的二次电子来获得线宽。 常用的电子显微镜有两种：一种是透射电子显微镜，另一种是扫描电子显微镜。