半导体工业用炭石墨制品的使用与选择-伟名石墨
半导体工业是新兴的科学技术，近年来受到了人们极大地重视，被认为是20世纪60年代与原子能同等重要的科学新成就。而半导体技术的发展与石墨材料在半导体工业中的应用是分不开的。在半导体工业中主要采用高纯石墨材料制造单晶炉石墨加热系统、电子器件烧结模具、绝缘子烧结模具、可控硅管烧结模具等。
单晶炉用炭石墨制品
石墨加热器。对单晶炉加热系统的要求是能够保证供给足够的热量，使硅、储等迅速熔化，同时应能保证精细而方便地调节温度。故加热通常采用电阻和高频加热两种常用的电阻加热主要包括一个变压器和一个石墨加热器。常见的石墨加热器形状有杯形、直筒形、螺旋形，如图2-1所示。加热器的尺寸、形状、开槽高度主要考虑熔料多少和有利于拉晶，其电阻值要和变压器远配。加热器内径和高度的选择，原则是使熔硅时，石墨托上部位于加热器高温区，拉制晶体时，石墨托底部位于加热器高温区。加热器高温区长短和加热器开槽长短有关。加热器内径和高度决定后，根据变压器输出功率来决定加热器片厚，如变压器最大输出功率15AW,最大输出电压48”，则要求加热器电阻值最好为0.152。再根据R一的4求出加热器片厚t，b为宽度，L为长度。单晶炉炭石墨制品加热系统。
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